Plazmové leptání polymer bude pravděpodobně vznikla po použití plazmového leptání zpracování s fluorované založené na plyny jako oxid hydrotrifluoride a octafluoropropane. Tyto plyny vytvářet nenasycené sloučeniny v plazmě, které jsou pak převedeny do integrovaného obvodu destiček. Tyto musí být odstraněny, aby k dalšímu zpracování plazmy pokračovat.
2. Dbejte zvýšené opatrnosti kolem nebezpečných chemických látek.
Plasma etch polymer odstraňovač, známý jako PRX-127, je chemická sloučenina se skládá z prvků etheru sulfoxidu a hydroxidu, a je velmi nebezpečné dýchat nebo kontaktu. Doporučuje se, aby předtím, než se pokusíte použít tento výrobek, měli rukavice, brýle a masky se nosí. Mokré lavice ponoření proces je jedním z bezpečných způsobů, jak zvládnout tuto sloučeninu, a vyžaduje jen velmi málo fyzické interakce.
3
Vyplňte dva skrývkové tanky, které jsou navrženy speciálně pro mokré lavičce Proces s PRX-127 a přinést řešení, na teplotu 70 až 90 stupňů Celsia. Umístěte příslušného obvodu destičky opatrně do jednoho z tanků použít ochranné rukavice. Oplatky by měly zůstat v roztoku po dobu nejméně pěti minut, ale ne déle než 20 minut pro optimální účinek. Mechanické nebo zvukové na bázi míchání metoda je doporučen během prvního lázně.
4
Přeneste oplatky z první stripovací nádrže do druhé, jakmile lázeň dokončení cyklu, a namočte destiček opět po dobu pěti do 20 minut bez dalšího míchání. Tato druhá lázeň se odstraní stávající vrstvy polymeru pod zbytku na povrchu plátku.
5 deionizovaná voda je naprosto čistá voda, bez dalších minerálů.
Odstraňte oplatky z PRX-127 řešení a přenést na třetí nádrži naplněné SVC-300 máchání, což je řešení, které se používá především pro odstraňování laku. Je to docela bezpečné použití, protože je netoxický a nehořlavý a nepoškozuje destiček. Oplatky by měly zůstat v tomto roztoku po dobu dvou až tři minuty. Přeneste oplatky na konečné řešení - deionizované vody - uvnitř vypláchnout nádrž na šest až osm cyklů a pak použít odstřeďování sušičku ani točit oplachování vlasů odstranit všechny stopy řešení. Oplatky by měly být zcela bez polymerů, a nyní jsou bezpečné znovu použít pro další zpracování plazmy leptané.
Copyright © České zdravotnictví Všechna práva vyhrazena